研究・設備紹介

高エネルギー光を
操る技術

2000年に理化学研究所、播磨事業所、
光学系開発グループとの連携を開始し、
世界ナンバーワン性能のX線顕微鏡集光プローブの開発に成功。
現在、その成果は世界に展開されています。

独自開発のナノ加工・ナノ計測法をベースとする
放射光光学素子開発のメッカ

原子レベルで平滑なテラスと結晶学的な最小の段差で構成された表面。このような極限の平坦性をもつ表面の創成によって、はじめて高精度X線光学素子が実現します。

X線自由電子レーザー（SACLA）の
50nm集光システムを実現

コンパクトなX線自由電子レーザー施設であるSACLAに特化した2ステージ集光光学系を新たに開発。一段目の集光鏡によって一度ビームサイズを拡大し、最終段で十分な作動距離のもとに50nm集光を実現しました。10²⁰W/cm²に迫るピークエネルギーを達成し、本光学系の実現によって、新たに、X線領域での非線形光学が開拓されつつあります。

SPring-8を利用し
世界最高分解能のX線顕微鏡を実現

波面誤差のその場計測法と前段設置型波面補整鏡を新たに開発。
X線顕微鏡において世界で初めて補償光学系を導入し、
世界最小サイズ7nmのX線プローブを実現しました。